激光塵埃粒子計數(shù)器工作原理
日期：2025-11-17 04:30
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摘要：激光塵埃粒子計數(shù)器工作原理，氣體激光器發(fā)明于1960年，而半導體激光器發(fā)明于1962年。開始時這些激光器很貴，但是隨著它們變成具有經濟效益時，在粒子計數(shù)器中，就用氣體激光取代了白光。而到了20世紀80年代末，在絕大多數(shù)場合下，更便宜的半導體激光器又取代了氣體激光器。
塵埃粒子計數(shù)器原理、粒子計數(shù)器測量原理、激光塵埃粒子計數(shù)器工作原理
圖1光的散射與粒子尺寸的關系。
塵埃粒子計數(shù)器光可以看做是沿著傳播方向進行垂直振蕩的波。這一振蕩方向就是所謂的偏振。入射光的偏振非常重要。在以前的例子里，光的散射是在入射光的偏振平面內進行測量的。
粒子尺寸在5μm時的散射情況類似（圖2a）；而具有偏振現(xiàn)象，粒子尺寸在0.3μm（圖2b）時的散射情況有很大不同。由于用對數(shù)表示，變化不到十倍的，都看不到了。
圖2 垂直平面的散射作用。
散射光的強度隨著頻率的改變而變化：較短的波長意味較強的散射。在其他條件都相同的情況下，藍光的散射強度大約是紅光的10倍。大部分粒子計數(shù)器采用的都是近紅外或紅色激光；直到*近，這還都是*符合經濟效益的選擇。藍色氣體和半導體激光器價格都很貴；而且半導體激光器的使用壽命也很短。
塵埃粒子計數(shù)器
圖3所示的粒子計數(shù)器是使用傳感器的典型設計；氣流、激光、以及聚光鏡彼此成直角。
在傳感器的出口處有一個真空裝置，把空氣經過傳感器抽走。而空氣中的粒子則將激光散射。散射光又會被后面的聚光鏡聚焦到光學探測器上，隨后把光轉換成電壓信號，并且進行放大和濾波。此后，這個信號從模擬的轉換成數(shù)字信號，并且由微處理器對它進行分類。微處理器也會通過接口將計數(shù)器連接到控制數(shù)據(jù)收集系統(tǒng)上。
激光塵埃粒子計數(shù)器
氣體激光器發(fā)明于1960年，而半導體激光器發(fā)明于1962年。開始時這些激光器很貴，但是隨著它們變成具有經濟效益時，在粒子計數(shù)器中，就用氣體激光取代了白光。而到了20世紀80年代末，在絕大多數(shù)場合下，更便宜的半導體激光器又取代了氣體激光器。
用于粒子計數(shù)的激光器有兩種：一種是氣體激光器，如氦氖（HeNe）激光器和氬離子（argon-ion）激光器；另外就是半導體激光器[5]。氣體激光器能夠生產強烈的單色光，有時甚至是偏振光。氣體激光器產生準直高斯光束，而半導體激光器則產生出一個小的發(fā)散點光源，通常發(fā)散光有兩個不同的軸，并且總是出現(xiàn)多種模式。由于發(fā)散光具有多軸性，半導體激光器通常都有一個橢圓形的輸出，這帶來了一定的挑戰(zhàn)，也帶來了一定的優(yōu)勢。不同軸的散射光意味著要么勉強接受這一橢圓形的輸出，要么設計一套復雜而昂貴的光學鏡來做補償。另一方面，橢圓光束很適合用于某些應用，利用長軸，可以得到更好的覆蓋范圍。
總之，氦氖激光器的輸出“直接可用”，無需增加任何光學元件。要想產生類似于氦氖激光器的光束，從半導體激光器出來的光必須經過透鏡聚焦，這會導致光能的損耗。但是，半導體激光器的成本低、體積小、工作電壓低、功耗小，成為粒子計數(shù)器的*佳選擇。
在要求高靈敏度的應用中，氦氖激光器可以用于開式腔模式[6]，產生很大的功率（圖4）。因為樣本要通過光學空腔諧振器，當粒子濃度較高時，激光會中斷（無法維持“Q”因子），所以此時這種類型的激光不適用。
入口噴嘴
進入粒子計數(shù)器的入口樣本對計數(shù)器的分辨率起著至關重要的作用。入口有兩種類形：一種是扁平的（寬10mm，高0.1mm），另一種是內徑為2-3mm的圓形。入口噴嘴為扁平的時，通常激光束是一條與噴嘴同軸的窄線。
而入口噴嘴為圓形時，激光束則通常與入射口的軸線大致成直角。粒子會通過一個非常狹窄，強度很高的激光面。
每種類型的噴嘴各有優(yōu)缺點。扁平噴嘴出來的氣流速度相當均勻，它通過激光束中*強而且*均勻的部分，因此精度*高。
但是，扁平噴嘴的橫截面小，意味著要求真空度高于圓形噴嘴，這樣會增加能耗（這點非常重要，特別是在采用電池供電時）。扁平噴嘴的制造比較復雜，價格也較高，而且它和激光之間的配合也是一個問題。
圓形噴嘴比較簡單，因為它的橫截面較大，對于速度相同的氣流，對真空度的要求也較低，所以當空氣吸入時，能耗也較小。相對于扁平噴嘴，氣流速度較低意味著每個粒子散射的光也更多。圓形噴嘴的缺點在于它會降低氣流的均勻性，而且激光束的功率不是均勻的；光束會變粗，因而精度較低。
光學聚焦元件
粒子會朝各個方向散射光，其中*主要的還是正前方。隨著粒子的變大，會有更多的光朝后面以及沿直角方向散射。光學聚焦元件則將光收集起來并且聚焦到探測器上，防止出現(xiàn)激光干擾。
光學聚焦器件會嘗試只收集包含有用信號的光，而將無用光排除在外。雜散反射光會導致噪音，通常會在基線上產生一定的偏移，這會影響儀器的靈敏度。
圖3空氣粒子計數(shù)器的俯視圖。
反射鏡：凹面鏡可以用來聚集光線并且把光線聚焦到探測器上。凹面鏡作為燈光的反射鏡，可以將從它的焦點發(fā)出的光反射回焦點。這是*常用的光學聚焦元件，可以用它做出小巧而且成本低的傳感器。
透鏡：用于粒子計數(shù)器的透鏡通常都是成對出現(xiàn)的半球鏡。它們可以有效地將圖象（散射光）從一個焦點傳輸?shù)搅硪粋€焦點（光電探測器）。在許多傳感器中，也在透鏡的另一端用一個反射鏡來收集光線。
小心地運用遮蔽技術，例如限制光圈或視場光闌，可以進一步減少偏射光。用透鏡將光線從一個平面?zhèn)鬏數(shù)搅硪黄矫妫约捌庀夹g，這些與那些攝影技術中常用的辦法并沒有什么不同，但是要記住，粒子計數(shù)器使用的是單色光輻射，因此不必擔心另外需要使用色差校正（不同波長的光折射后會聚焦在不同點上）。
Mangin鏡：Mangin鏡主要由一個負凹凸透鏡和一個鏡像凸形二次表面組成。這些過去常見于乙炔燈。現(xiàn)在，它們用在光學系統(tǒng)中，例如望遠鏡。
圖4開腔式激光器。
Mangin鏡在粒子計數(shù)器中是成對使用，類似于半球透鏡。Mangin鏡比透鏡輕，但是比透鏡寬。和半球透鏡一樣，它的功能是將圖像從一個鏡子的焦點傳輸?shù)搅硪粋€鏡子的焦點。
非成像粒子計數(shù)器：非成像粒子計數(shù)器不需要使用任何光學聚焦元件。光電探測器緊靠著試樣的入口和激光，收集散射光。小型傳感器（例如手持式傳感器）往往包含光學元件，它含有一個非成像元件。
光電探測器
光電探測器每接收到一個光子就會產生電荷，從而將入射光轉換成電脈沖。散射光的數(shù)量會隨著粒子尺寸的增大而增多，同時散射光子也會到達光電探測器，于是，產生了與粒子尺寸成正比的電流脈沖。
光電二極管：光電二極管就是一個p-n結。當能量足夠的光子撞上二極管時，就會產生一個可移動的電子和一個帶正電的空穴。這些電荷會引起光電流，隨后進行放大、濾波和分類處理。
雪崩光電二極管：雪崩光電二極管[7]是一個半導體光電倍增管。光子能引起雪崩光電二極管發(fā)生電子雪崩；可以用來檢測光子并進行計數(shù)。
處理電路
信號處理電路對光電探測器產生的信號進行放大和濾波。
例如，圖5a所示的（經夸張?zhí)幚恚┬盘杹碜粤Ｗ佑嫈?shù)器。粒子產生了4個尖脈沖。基線有些波動，可能是聲波（例如，來自泵）、電源的影響，也可能是由于空氣從入口處高速涌入時產生的呼嘯聲的影響。基線的波動頻率遠遠低于粒子產生的信號，可以用高通濾波器把它濾除。
這樣還會留下高頻干擾（可能來自處理電路），如圖5b所示。高頻干擾的頻率遠遠高于粒子產生的信號，可以用低通濾波器把它濾掉。
圖5光電探測器信號的放大和濾波。
經過濾波后的信號，由一系列的脈沖組成，脈沖的高度與粒子尺寸有關（圖5c）。現(xiàn)在對這些信號進行分類，用脈沖幅度分析儀進行模擬數(shù)字轉換。在轉換成數(shù)字信號之后，可以這些經過分類的脈沖進行計數(shù)，*后送往控制系統(tǒng)。
Jim Babb是AdamsInstruments公司光學工程部總監(jiān)。在過去的二十四年中，他一直參與極為復雜的激光光電系統(tǒng)的開發(fā)工作，并為FDA、國防承包商和航空航天制造商制定度量標準
光學塵埃粒子計數(shù)器是利用丁達爾現(xiàn)象（TyndallEffect）來檢測粒子。丁達爾效應是用JohnTyndall的名字命名的[1]，通常是膠體中的粒子對光線的散射作用引起的。一束明亮的光照在空氣或霧中的灰塵上，所產生的散射就是丁達爾現(xiàn)象。
當折射率變化時，光線就會發(fā)生散射。這就意味著在液體中，汽泡對光線的散射作用和固體粒子是一樣的。米氏理論（MieTheory）描述了粒子對光的散射作用。
Lorenz -Mie-Debye理論*早由GustavMie提出[2、3]，它描述了光是如何朝各個不同方向散射的。具體的散射情況決定于介質的折射率、粒子對光的散射作用、粒子的尺寸和光的波長。具體介紹米氏理論的細節(jié)超出了本文的范圍；但是，有很多公共領域的應用都可以用來驗證光是如何散射的[4]。
光的散射情況會隨著粒子尺寸的變化而變化。在粒子計數(shù)器中，米氏理論*重要的結果以及它對光散射的預測都與之相關。當粒子尺寸比光的波長要小得多的時候，光散射主要是朝著正前方（圖1a）。而當粒子尺寸比光波長要大得多的時候，光散射則主要朝直角和后方方向散射（圖1b）。
圖1光的散射與粒子尺寸的關系。
塵埃粒子計數(shù)器光可以看做是沿著傳播方向進行垂直振蕩的波。這一振蕩方向就是所謂的偏振。入射光的偏振非常重要。在以前的例子里，光的散射是在入射光的偏振平面內進行測量的。
粒子尺寸在5μm時的散射情況類似（圖2a）；而具有偏振現(xiàn)象，粒子尺寸在0.3μm（圖2b）時的散射情況有很大不同。由于用對數(shù)表示，變化不到十倍的，都看不到了。
圖2 垂直平面的散射作用。
散射光的強度隨著頻率的改變而變化：較短的波長意味較強的散射。在其他條件都相同的情況下，藍光的散射強度大約是紅光的10倍。大部分粒子計數(shù)器采用的都是近紅外或紅色激光；直到*近，這還都是*符合經濟效益的選擇。藍色氣體和半導體激光器價格都很貴；而且半導體激光器的使用壽命也很短。
塵埃粒子計數(shù)器
圖3所示的粒子計數(shù)器是使用傳感器的典型設計；氣流、激光、以及聚光鏡彼此成直角。
在傳感器的出口處有一個真空裝置，把空氣經過傳感器抽走。而空氣中的粒子則將激光散射。散射光又會被后面的聚光鏡聚焦到光學探測器上，隨后把光轉換成電壓信號，并且進行放大和濾波。此后，這個信號從模擬的轉換成數(shù)字信號，并且由微處理器對它進行分類。微處理器也會通過接口將計數(shù)器連接到控制數(shù)據(jù)收集系統(tǒng)上。
激光塵埃粒子計數(shù)器
氣體激光器發(fā)明于1960年，而半導體激光器發(fā)明于1962年。開始時這些激光器很貴，但是隨著它們變成具有經濟效益時，在粒子計數(shù)器中，就用氣體激光取代了白光。而到了20世紀80年代末，在絕大多數(shù)場合下，更便宜的半導體激光器又取代了氣體激光器。
用于粒子計數(shù)的激光器有兩種：一種是氣體激光器，如氦氖（HeNe）激光器和氬離子（argon-ion）激光器；另外就是半導體激光器[5]。氣體激光器能夠生產強烈的單色光，有時甚至是偏振光。氣體激光器產生準直高斯光束，而半導體激光器則產生出一個小的發(fā)散點光源，通常發(fā)散光有兩個不同的軸，并且總是出現(xiàn)多種模式。由于發(fā)散光具有多軸性，半導體激光器通常都有一個橢圓形的輸出，這帶來了一定的挑戰(zhàn)，也帶來了一定的優(yōu)勢。不同軸的散射光意味著要么勉強接受這一橢圓形的輸出，要么設計一套復雜而昂貴的光學鏡來做補償。另一方面，橢圓光束很適合用于某些應用，利用長軸，可以得到更好的覆蓋范圍。
總之，氦氖激光器的輸出“直接可用”，無需增加任何光學元件。要想產生類似于氦氖激光器的光束，從半導體激光器出來的光必須經過透鏡聚焦，這會導致光能的損耗。但是，半導體激光器的成本低、體積小、工作電壓低、功耗小，成為粒子計數(shù)器的*佳選擇。
在要求高靈敏度的應用中，氦氖激光器可以用于開式腔模式[6]，產生很大的功率（圖4）。因為樣本要通過光學空腔諧振器，當粒子濃度較高時，激光會中斷（無法維持“Q”因子），所以此時這種類型的激光不適用。
入口噴嘴
進入粒子計數(shù)器的入口樣本對計數(shù)器的分辨率起著至關重要的作用。入口有兩種類形：一種是扁平的（寬10mm，高0.1mm），另一種是內徑為2-3mm的圓形。入口噴嘴為扁平的時，通常激光束是一條與噴嘴同軸的窄線。
而入口噴嘴為圓形時，激光束則通常與入射口的軸線大致成直角。粒子會通過一個非常狹窄，強度很高的激光面。
每種類型的噴嘴各有優(yōu)缺點。扁平噴嘴出來的氣流速度相當均勻，它通過激光束中*強而且*均勻的部分，因此精度*高。
但是，扁平噴嘴的橫截面小，意味著要求真空度高于圓形噴嘴，這樣會增加能耗（這點非常重要，特別是在采用電池供電時）。扁平噴嘴的制造比較復雜，價格也較高，而且它和激光之間的配合也是一個問題。
圓形噴嘴比較簡單，因為它的橫截面較大，對于速度相同的氣流，對真空度的要求也較低，所以當空氣吸入時，能耗也較小。相對于扁平噴嘴，氣流速度較低意味著每個粒子散射的光也更多。圓形噴嘴的缺點在于它會降低氣流的均勻性，而且激光束的功率不是均勻的；光束會變粗，因而精度較低。
光學聚焦元件
粒子會朝各個方向散射光，其中*主要的還是正前方。隨著粒子的變大，會有更多的光朝后面以及沿直角方向散射。光學聚焦元件則將光收集起來并且聚焦到探測器上，防止出現(xiàn)激光干擾。
光學聚焦器件會嘗試只收集包含有用信號的光，而將無用光排除在外。雜散反射光會導致噪音，通常會在基線上產生一定的偏移，這會影響儀器的靈敏度。
圖3空氣粒子計數(shù)器的俯視圖。
反射鏡：凹面鏡可以用來聚集光線并且把光線聚焦到探測器上。凹面鏡作為燈光的反射鏡，可以將從它的焦點發(fā)出的光反射回焦點。這是*常用的光學聚焦元件，可以用它做出小巧而且成本低的傳感器。
透鏡：用于粒子計數(shù)器的透鏡通常都是成對出現(xiàn)的半球鏡。它們可以有效地將圖象（散射光）從一個焦點傳輸?shù)搅硪粋€焦點（光電探測器）。在許多傳感器中，也在透鏡的另一端用一個反射鏡來收集光線。
小心地運用遮蔽技術，例如限制光圈或視場光闌，可以進一步減少偏射光。用透鏡將光線從一個平面?zhèn)鬏數(shù)搅硪黄矫妫约捌庀夹g，這些與那些攝影技術中常用的辦法并沒有什么不同，但是要記住，粒子計數(shù)器使用的是單色光輻射，因此不必擔心另外需要使用色差校正（不同波長的光折射后會聚焦在不同點上）。
Mangin鏡：Mangin鏡主要由一個負凹凸透鏡和一個鏡像凸形二次表面組成。這些過去常見于乙炔燈。現(xiàn)在，它們用在光學系統(tǒng)中，例如望遠鏡。
圖4開腔式激光器。
Mangin鏡在粒子計數(shù)器中是成對使用，類似于半球透鏡。Mangin鏡比透鏡輕，但是比透鏡寬。和半球透鏡一樣，它的功能是將圖像從一個鏡子的焦點傳輸?shù)搅硪粋€鏡子的焦點。
非成像粒子計數(shù)器：非成像粒子計數(shù)器不需要使用任何光學聚焦元件。光電探測器緊靠著試樣的入口和激光，收集散射光。小型傳感器（例如手持式傳感器）往往包含光學元件，它含有一個非成像元件。
光電探測器
光電探測器每接收到一個光子就會產生電荷，從而將入射光轉換成電脈沖。散射光的數(shù)量會隨著粒子尺寸的增大而增多，同時散射光子也會到達光電探測器，于是，產生了與粒子尺寸成正比的電流脈沖。
光電二極管：光電二極管就是一個p-n結。當能量足夠的光子撞上二極管時，就會產生一個可移動的電子和一個帶正電的空穴。這些電荷會引起光電流，隨后進行放大、濾波和分類處理。
雪崩光電二極管：雪崩光電二極管[7]是一個半導體光電倍增管。光子能引起雪崩光電二極管發(fā)生電子雪崩；可以用來檢測光子并進行計數(shù)。
處理電路
信號處理電路對光電探測器產生的信號進行放大和濾波。
例如，圖5a所示的（經夸張?zhí)幚恚┬盘杹碜粤Ｗ佑嫈?shù)器。粒子產生了4個尖脈沖。基線有些波動，可能是聲波（例如，來自泵）、電源的影響，也可能是由于空氣從入口處高速涌入時產生的呼嘯聲的影響。基線的波動頻率遠遠低于粒子產生的信號，可以用高通濾波器把它濾除。
這樣還會留下高頻干擾（可能來自處理電路），如圖5b所示。高頻干擾的頻率遠遠高于粒子產生的信號，可以用低通濾波器把它濾掉。
圖5光電探測器信號的放大和濾波。
經過濾波后的信號，由一系列的脈沖組成，脈沖的高度與粒子尺寸有關（圖5c）。現(xiàn)在對這些信號進行分類，用脈沖幅度分析儀進行模擬數(shù)字轉換。在轉換成數(shù)字信號之后，可以這些經過分類的脈沖進行計數(shù)，*后送往控制系統(tǒng)。
Jim Babb是AdamsInstruments公司光學工程部總監(jiān)。在過去的二十四年中，他一直參與極為復雜的激光光電系統(tǒng)的開發(fā)工作，并為FDA、國防承包商和航空航天制造商制定度量標準